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本文標(biāo)題："表明輪廓測量儀器常識-超細(xì)微探針顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-4-22 0:59:01 本站主頁地址：http://joycesworld.cn
表明輪廓測量儀器常識-超細(xì)微探針顯微鏡
AFM電子顯微鏡，配合使用超細(xì)微探針，探針尖端尺寸可降低到10 nm以下等級，參考NIST之AFM量測線寬方法，
變更為雙傾斜影像疊合量測法，先將試片順時針傾斜，此時探針掃描由左往右，量測影像之左側(cè)為探針實(shí)際量測試片線寬之實(shí)際輪廓影像，
再將試片逆時針傾斜時，探針掃描由右往左(量測影像，同樣試片右側(cè)輪廓為探針實(shí)際量測試片線寬右側(cè)之幾何形狀，繼之以影像疊合技術(shù)組合量測影像，疊合后，
取第一次掃描之左測影像與第二次掃描之右測影像；
在旋轉(zhuǎn)試片時，以試片量測位置表面為旋轉(zhuǎn)中心，所以旋轉(zhuǎn)試片后，量測位置偏移很小(約為40 μm)，
能調(diào)整AFM掃描范圍，所以二次量測都能在同一位置。
影像疊合組合技術(shù)，是利用ICP(Iterative closest point)數(shù)學(xué)式，此法可算得兩張圖像相對應(yīng)之旋轉(zhuǎn)與平移矩陣，
再擷取多張相近圖像之迭代運(yùn)算后可收斂出一張最接近之疊合影像。經(jīng)影像疊合后之量測影像，需補(bǔ)償修正探針之尖端半徑后，
才能得到試片奈米結(jié)構(gòu)線寬之實(shí)際形貌
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