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微光學元件表面輪廓量測
元件表面的粗糙度會直接影響微光學元件之特性,如果表面粗糙太過嚴重會使其光學效率大大的降低,
因此經(jīng)由準分子雷射拖拉式加工之后的
工件,我們都必須進行表面輪廓的量測。而我們是采
用光學
顯微鏡、干涉儀(Zygo)、薄膜測厚儀(α-stepper)及掃描式電子顯微鏡(SEM)分別對
元件表面進行表面外觀形狀、蝕刻深度等的量測,并且利用電腦計算出加工后工件之粗糙度,
目的在于對元件作初步的檢驗與評價制程的品質
平衡是因為它適用于一個以上的階段,其中可能存在的系統(tǒng)。相平衡是現(xiàn)在一個系統(tǒng)的相位特性與時間的關系。
免費能源方面的考慮和圖表類似提供了有關特定系統(tǒng)的,這是非常重要的平衡特性的訊息
但他們沒有說明實現(xiàn)一個新的平衡狀態(tài)所需的一段時間。這是經(jīng)常發(fā)生的情況,尤其是在固體系統(tǒng),
即一種平衡狀態(tài)從來沒有完全實現(xiàn),因為綠平衡的方法是極其緩慢的,這樣的系統(tǒng)被認為是在非平衡態(tài)或亞穩(wěn)態(tài)。
亞穩(wěn)態(tài)或
微觀結構可能會持續(xù)下去,隨著時間的推移經(jīng)歷只有極其輕微,幾乎難以察覺的變化。
通常情況下,亞穩(wěn)結構超過均衡的現(xiàn)實意義。例如,一些鋼和鋁合金依靠亞穩(wěn)態(tài)微觀結構的發(fā)展實力,
在精心設計的熱處理。
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