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本文標(biāo)題："磨擦劃痕與背隙孔隙率測(cè)量影像測(cè)量工具顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-9-25 22:01:02 本站主頁(yè)地址：http://joycesworld.cn
磨擦劃痕與背隙孔隙率測(cè)量影像測(cè)量工具顯微鏡
微奈米精密對(duì)位(Alignment)是平面顯示器或相關(guān)精密產(chǎn)品制程中非常普遍
需要的基本動(dòng)作功能，此精密對(duì)位的對(duì)位精準(zhǔn)度與作動(dòng)反應(yīng)速度，對(duì)整部制
程設(shè)備的性能具關(guān)鍵性之影響。針對(duì)精密對(duì)位傳統(tǒng)上大致皆應(yīng)用一般伺服定
位系統(tǒng)，然一般伺服定位系統(tǒng)常因傳動(dòng)機(jī)構(gòu)之庫(kù) 倫靜磨擦與背隙效應(yīng)而讓運(yùn)
動(dòng)分辨率及控制性能大為受限，壓電驅(qū)動(dòng)精密對(duì)位由于絕佳運(yùn)動(dòng)分辨率及高
剛性而被視為是一相當(dāng)有效的解決之道。
然壓電驅(qū)動(dòng)精密對(duì)位仍有兩大問(wèn)題:
1.壓電致動(dòng)器具遲滯、潛變、飽和等非線性特性，
2.(2)對(duì)位之基準(zhǔn)大多為被對(duì)位物件上之光學(xué)標(biāo) 記，
3.有賴顯微視覺(jué)加以量測(cè)回授。本研究之目的即在克服壓電致動(dòng)器之遲滯、
4.潛變、飽和等非線性問(wèn)題，使其控制性能更佳，
5.并與顯微視覺(jué)量測(cè)回授整合而成精密對(duì)位系統(tǒng)。
為此本研究建構(gòu)提出一新創(chuàng)之壓電驅(qū)動(dòng)非線性模型，模型簡(jiǎn)潔、具物理意義、易設(shè)計(jì)其
反遲滯電路、 并具相當(dāng)精確性
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