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本文標(biāo)題："使用高精度的測(cè)量光學(xué)顯微鏡檢測(cè)樣品質(zhì)量"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-11-12 17:41:54 本站主頁地址：http://joycesworld.cn
使用高精度的測(cè)量光學(xué)顯微鏡檢測(cè)樣品質(zhì)量
傳感器的檢測(cè)精度
掃描基準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)精度
在現(xiàn)有的精密檢測(cè)技術(shù)條件下，要求現(xiàn)高精度的檢測(cè)，則需
亞微米級(jí)精度的變位計(jì)和能測(cè)量出0.1s數(shù)據(jù)精度的角度計(jì)，但
是，以高精度的掃描基準(zhǔn)來進(jìn)行測(cè)量是非常困難的，因?yàn)閽呙?/div>
形狀測(cè)量的精度是由掃描引導(dǎo)的運(yùn)動(dòng)精度決定。
工作機(jī)械直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的高精度化是精密檢測(cè)技術(shù)的保證，
運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)誤差是評(píng)價(jià)精度必要的手段。高精度的直定規(guī)
等是測(cè)量運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的最后一般辦法，但在測(cè)量移動(dòng)范圍很大的
計(jì)測(cè)法等，開發(fā)出了以激光光線為基準(zhǔn)的測(cè)量法。
在掃描檢測(cè)方法中，在獲取工件形狀信息的同時(shí)，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的
運(yùn)動(dòng)誤差也同時(shí)被檢測(cè)并包含檢測(cè)結(jié)果中，則須通過誤差分離
方法，將工件的形狀信息和引導(dǎo)誤差進(jìn)行分離。機(jī)床的運(yùn)動(dòng)精
度一般需要進(jìn)行在線有測(cè)量才比較可靠。在掃描測(cè)量方法中，
在將引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)誤差分離之后，才可以使用高精度的測(cè)量
儀器對(duì)工件誤差進(jìn)行評(píng)價(jià)。同樣，測(cè)量基準(zhǔn)對(duì)納米計(jì)測(cè)來說也
是相當(dāng)重要的。
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