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本文標題:"微型化、集成化、智能化并與新技術便攜顯微鏡"

新聞來源:未知 發(fā)布時間:2016-5-12 1:27:30 本站主頁地址:http://joycesworld.cn

微型化、集成化、智能化并與新技術便攜顯微鏡


傳感器指能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于測
量的輸出信號的器件或裝置,一般由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。微
傳感器(Micro—sensor)是微機械的重頭產(chǎn)品,在已開發(fā)的微機械
產(chǎn)品中,微傳感器占到90%。微傳感器的體積小、功耗低、響應快,
便于和信號處理部分集成以構成微傳感器測試系統(tǒng),這些特性使
其可以應用于汽車、航空航天、電機、醫(yī)學、家用電器、生物化學、環(huán)
境監(jiān)測等廣闊領域。
    微傳感器的出現(xiàn)和廣泛應用是微電子制造技術向半導體技術
擴展的結果。這些技術包括光刻、薄膜鍍層、化學和離子加工等。它
們使得傳感器結構得以微型化,從而能在同一表面上制作大量的
傳感器,然后批量生產(chǎn)。
    第一個微傳感器是在硅上鍍膜再經(jīng)化學加工并與電子線路集
成的壓力微傳感器。目前這項技術已有五六十年的發(fā)展歷史,許多
集成線路制造商對其進行了工業(yè)開發(fā),并把相關產(chǎn)品用到汽車上。
另外一些工業(yè)化生產(chǎn)的微傳感器產(chǎn)品,包括在硅或石英上制作的
霍爾效應(Hall Effect)探頭、加速度計、力傳感器以及化學傳感器
等等。
    傳感器的發(fā)展趨勢是微型化、集成化、智能化并與新技術、新
材料的發(fā)展不斷融合;诠璧奈鞲衅髋c電子線路集成是一個
重要的發(fā)展目標,這不僅可以使整體尺寸更小,而且能夠大幅度降
低生產(chǎn)成本。目前在一些專業(yè)領域,光學與機械的功能結構逐漸趨
于集成,例如色譜分析儀等正在把光學微結構與檢測器件集于一
體;生物醫(yī)學上也需要生物微傳感器與機械執(zhí)行器(如微閥、微泵
等)的集成來檢測輸入量與血流量。

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